ちょっと
【副】
①一会儿，一下
②一点，稍微
③不太容易，不太
④相当，还可以
すこし
【副】
一点，一些，少量，稍微
やや
【副】
①稍微
②一会儿
相同点：
均表示“一会儿、稍微”。
不同点：
ちょっと
表示数量、时间、程度的绝对少，用法基本上和「すこし」相同。但在「ちょっと困りますね」之类的句子里则表示程度相当大。是较为随便的说法。
例：
ちょっとのお金を惜しむ。／一点钱都吝惜。
ちょっとしたことにも怒る。／对一点儿小事也生气。
ちょっとお邪魔します。／打扰一下。
すこし
既可以表示数量、时间、程度的绝对少，也可以表示某一范围内的相对数量、时间、程度，所以经常会用「もうすこし」的形式。在表示绝对的数量、时间、程度少时，可以用「すこしは」的形式，「ちょっと」则不可用。此外，「すこし」用于正式的场合及书面用语。
例：
この洋服はすこし大きすぎる。／这件衣服有点儿大了。
パンがすこし残っている。／面包剩一点儿了。
すこし詳しく説明してください。／请稍微详细地讲一讲。（表示相对的程度）
やや
表示程度、时间，不表示量。多用于稍正式的场合。
例：
景気がやや回復した。／经济有点恢复了。
雨がやや小降りになる。／雨下得稍微小了。
ややあって彼が出てきた。／过了一会儿，他出来了。
