ついに
【副】
①终于，直到最后，末了
②从（未……）
とうとう
【副】
终于，到底，终究，结局
やっと
【副】
①好不容易，终于，才
②勉勉强强
ようやく
【副】
①渐渐
②好（不）容易，勉勉强强
相同点：
均表示“终于、最后”。
不同点：
ついに
表示事情从一开始就遇到艰难曲折，最后终于实现某种结局。它强调事态实现的过程较长。所得到的结果可以是正面的亦可是负面的。从谓语的形式来看，其谓语既可是肯定式，也可是否定式，但不可用于按事情规律必定到来的事态。
例：
ついに完成をみた。／终于完成了。
ついに実現できなかった。／终于没能实现。
ついに口をきかなかった。／直到最后一言未发。
とうとう
大致可以和「ついに」互换。但「ついに」强调某种结局到来时的心情，「とうとう」强调结局出现的过程和结果。常伴有强烈的欢喜、失望、决心等感情。
例：
よっかた、よっかた、とうとう受かったよ。／太好了，太好了，终于考上了。
いそがしくて、その映画はとうとう見に行けなかった。／忙得最终没能去看那部电影。
だんだん小さくなって、とうとう見えなくなった。／渐渐变小，终于看不见了。
やっと
强调期望已久或难以实现的事，经过努力终于得以实现时的心情。这种情况下常译为“好不容易”，此时不可和「ついに」「とうとう」互换。另外，此词只能表达积极与符合结果的心情，其谓语只能使用肯定形式。有「やっとのことで」的表达方式，而其他三词没有。
例：
やっと彼女をくどいた。／好容易把她说服了。
苦労の末やっと完成した。／经过一番艰苦之后好容易才完成了。
いろいろな字引を調べてやっとわかった。／查了各种字典终于明白了。
ようやく
大多数情况可以和「やっと」互换，但「やっと」强调期盼已久的心情，「ようやく」强调过程长。
例：
ようやく雨がやんだ。／雨总算停了。
ようやく完成をみた。／可算完成了。
ようやく春らしくなった。／总算有点春意了。
